| 摘要 |
光学基板（１）は、独立した複数の凸部（１３１〜１３４）と、各凸部（１３１〜１３４）間に設けられた凹部（１４）と、を含む凹凸構造（１２）が、表面に設けられている。凹凸構造（１２）の隣接する凸部（１３１〜１３４）間の平均間隔Ｐａｖｅが、５０ｎｍ≦Ｐａｖｅ≦１５００ｎｍを満たし、且つ、平均凸部高さＨａｖｅに対して０．６ｈ≧ｈｎ≧０ｈを満たす凸部高さｈｎを有する凸部（１３３）が、１／１００００≦Ｚ≦１／５を満たす確率Ｚで存在する。光学基板（１）を半導体発光素子に用いると、半導体層中の転位を分散化し転位密度を減らすことにより、内部量子効率ＩＱＥを改善しつつ、光散乱により導波モードを解消して光取り出し効率ＬＥＥを高め、半導体発光素子の発光効率が向上する。 |
