| 摘要 |
<p>【課題】マスクパターンの位置を適切に調整することができるマスク調整ユニット等の技術を提供すること。【解決手段】本技術に係るマスク調整ユニットは、ベース体と、可動部材と、調整機構とを具備する。前記可動部材は、外縁部を有するマスク本体の前記外縁部側を支持し、前記ベース体に移動可能に設けられる。前記調整機構は、前記マスク本体の前記外縁部から前記マスク本体の外側へ引く張力、及び、前記外縁部から前記マスク本体の内側へ押す押圧力の両方を、前記可動部材を介して、前記可動部材に支持された前記マスク本体に加える。【選択図】図１</p> |
