MIKROSPIEGELANORDNUNG UND PROJEKTIONSEINRICHTUNG

摘要

Die vorliegende Erfindung offenbart eine Mikrospiegelanordnung mit einem federnd aufgehängten Spiegel und mit mindestens einer Anschlageinrichtung, welche ausgebildet ist, bei einer Bewegung des Spiegels in einer vorgegebenen Richtung aus dessen Ruheposition heraus, eine Bewegung des Spiegels einzuschränken. Ferner offenbart die vorliegende Erfindung eine Projektionseinrichtung.