| 摘要 |
하나 이상의 반응기 내에 존재하는 지지체 상에 다결정질 실리콘을 증착하여 다결정질 실리콘 로드를 얻는 단계, 상기 다결정질 실리콘 로드를 상기 하나 이상의 반응기로부터 설치제거하는 단계, 상기 설치제거된 다결정질 실리콘 로드를 청크로 분쇄하는 단계를 포함하는 다결정질 실리콘의 제조 방법으로서, 상기 하나 이상의 반응기로부터 상기 다결정질 실리콘 로드를 설치제거한 후, 상기 설치제거된 다결정질 실리콘 로드를 청크로 분쇄하기 전에, 로드 형태의 다결정질 실리콘을 하나 이상의 특징에 근거하여 두 개 이상의 품질 등급들로 분류하는 단계를 포함하고, 상기 두 개 이상의 품질 등급들은 별도의 추가적인 가공 단계들로 보내지는 다결정질 실리콘의 제조 방법. |
