发明名称 |
一种MEMS麦克风 |
摘要 |
本实用新型公开了一种MEMS麦克风,包括:第一PCB板、设置于第一PCB板上方的第二PCB板、设置于第二PCB板上方的MEMS芯片、以及外壳;第二PCB板和外壳围成腔体,将MEMS芯片封装在腔体内部;MEMS芯片包括并列的第一MEMS单元和第二MEMS单元;第一PCB板开设有第一通孔;第二PCB板对应于第一MEMS单元开设有第二通孔,并且对应于第二MEMS单元开设有第三通孔;第一通孔位于第二通孔和第三通孔之间,第一、第二、第三通孔互相连通以形成分岔的声孔。本实用新型的MEMS麦克风利用两个MEMS单元增大检测电容的面积,提高了麦克风产品的信噪比。 |
申请公布号 |
CN204887467U |
申请公布日期 |
2015.12.16 |
申请号 |
CN201520633705.7 |
申请日期 |
2015.08.20 |
申请人 |
歌尔声学股份有限公司 |
发明人 |
吴安生;刘文涛;袁兆斌 |
分类号 |
H04R19/04(2006.01)I |
主分类号 |
H04R19/04(2006.01)I |
代理机构 |
北京博雅睿泉专利代理事务所(特殊普通合伙) 11442 |
代理人 |
马佑平;杨国权 |
主权项 |
一种MEMS麦克风,其特征在于,包括:第一PCB板(100)、设置于第一PCB板(100)上方的第二PCB板(200)、设置于第二PCB板(200)上方的MEMS芯片(300)、以及外壳(1);所述第二PCB板(200)和外壳(1)围成腔体,将所述MEMS芯片(300)封装在腔体内部;所述MEMS芯片(300)包括并列的第一MEMS单元(301)和第二MEMS单元(302);所述第一PCB板(100)开设有第一通孔(102);所述第二PCB板(200)对应于第一MEMS单元(301)开设有第二通孔(202),并且对应于第二MEMS单元开设有第三通孔(203);所述第一通孔(102)位于第二通孔(202)和第三通孔(203)之间,所述第一、第二、第三通孔(102、202、203)互相连通以形成分岔的声孔。 |
地址 |
261031 山东省潍坊市高新技术开发区东方路268号 |