发明名称 热敏电阻式测量系统;THERMISTOR BASED MEASUREMENT SYSTEM
摘要 揭露一种监测环境温度与空气速度的测量系统。测量系统使用单一温度感测器,其配置于试验的环境中,所述温度感测器与控制器连通。控制器供应第一电流至温度感测器以测量环境的环境温度。选择所述第一电流以使温度感测器几乎没有或无自加热。在环境温度被确定之后,较高的第二电流被施加至温度感测器。所述电流加热温度感测器到预定量。基于预期的温度上升、环境温度与实际已监测到的温度,以确定空气速度。
申请公布号 TW201546455 申请公布日期 2015.12.16
申请号 TW104108552 申请日期 2015.03.18
申请人 瓦里安半导体设备公司 VARIAN SEMICONDUCTOR EQUIPMENT ASSOCIATES, INC. 发明人 尼尔森 拉力G NELSON, LARRY G.
分类号 G01P5/10(2006.01);G01K7/02(2006.01) 主分类号 G01P5/10(2006.01)
代理机构 代理人 叶璟宗郑婷文詹富闵
主权项
地址 美国 US