发明名称 |
热敏电阻式测量系统;THERMISTOR BASED MEASUREMENT SYSTEM |
摘要 |
揭露一种监测环境温度与空气速度的测量系统。测量系统使用单一温度感测器,其配置于试验的环境中,所述温度感测器与控制器连通。控制器供应第一电流至温度感测器以测量环境的环境温度。选择所述第一电流以使温度感测器几乎没有或无自加热。在环境温度被确定之后,较高的第二电流被施加至温度感测器。所述电流加热温度感测器到预定量。基于预期的温度上升、环境温度与实际已监测到的温度,以确定空气速度。 |
申请公布号 |
TW201546455 |
申请公布日期 |
2015.12.16 |
申请号 |
TW104108552 |
申请日期 |
2015.03.18 |
申请人 |
瓦里安半导体设备公司 VARIAN SEMICONDUCTOR EQUIPMENT ASSOCIATES, INC. |
发明人 |
尼尔森 拉力G NELSON, LARRY G. |
分类号 |
G01P5/10(2006.01);G01K7/02(2006.01) |
主分类号 |
G01P5/10(2006.01) |
代理机构 |
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代理人 |
叶璟宗郑婷文詹富闵 |
主权项 |
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地址 |
美国 US |