薄膜之成膜方法及成膜装置

摘要

提供一种以低成本成膜形成具备耐久性的薄膜之方法。该成膜方法系使用成膜装置1。该装置1系包括：真空容器11，基板100系被配置在其内部下方；真空泵15，其系用以将该容器11内排气；储存容器23，其系用以储存成膜剂溶液21，且系设置在容器11外部；喷嘴17，其系在一端具有能够将成膜剂溶液21吐出之吐出部19；及加压装置(气体供给源29等)，其系用以将在储存容器23内所储存的成膜剂溶液21之液面加压。作为成膜剂溶液21，系使用由包括第1材料(S1)、及具有比该S1的蒸气压(P1)更高的蒸气压(P2)之第2材料(S2)之2种类以上的材料所构成，且第1材料的浓度为0.01重量%以上之溶液。将该成膜剂溶液21在P2以上的压力(但除了比P2更高一个位数以上的压力以外)的环境下，以0.05~0.3MPa的吐出压吐出至基板。