| 发明名称 |
高纯度气体纯化器;HIGH PURITY GAS PURIFIER |
| 摘要 |
描述的是用于纯化腐蚀性气体(例如卤素气体或卤化物气体)和非腐蚀性气体(例如氢和惰性气体)的高纯度气体纯化器、制作该气体纯化器的方法、使用该气体纯化器的方法。气体纯化器包括由镍或不锈钢所做的壳罩。在壳罩里，气体纯化器包括纯化器树脂，其包括披覆到基质上的修改剂。气体纯化器进一步包括多孔性镍隔膜，其位在装置的入口和出口。入口和出口能够流体连通于外部固定件。 |
| 申请公布号 |
TW201545798 |
申请公布日期 |
2015.12.16 |
| 申请号 |
TW104112546 |
申请日期 |
2015.04.20 |
| 申请人 |
恩特格林斯公司 ENTEGRIS, INC. |
发明人 |
沛瑞拉 史坦尼奥 达柯司塔 PEREIRA, STENIO DA COSTA;秀格瑞 彼得Ｋ SHOGREN, PETER K.;吉伯森 洛基Ｄ GIPSON, ROCKY D. |
| 分类号 |
B01D29/03(2006.01);B01D29/58(2006.01);B01D39/14(2006.01) |
主分类号 |
B01D29/03(2006.01) |
| 代理机构 |
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代理人 |
阎启泰林景郁 |
| 主权项 |
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| 地址 |
美国 US |
