传动缝隙模块及应用其的连续溅射镀膜设备

摘要

本发明公开了一种传动缝隙模块，所述传动缝隙模块包括传动装置和传动腔，所述传动腔设置在传动装置上方，传动腔上方设置有用于隔离空间的封板。本发明还公开一种连续溅射镀膜设备，包括至少两个溅射镀膜井位，两个溅射镀膜井位之间设置有传动缝隙模块，所述传动缝隙模块包括传动装置和传动腔，所述传动腔设置在传动装置上方，传动腔上方设置有一封板，所述封板将两个溅射镀膜井位隔离。本发明的传动缝隙模块结构简单，操作方便，气体隔离效果好，有效避免了不同井位之间的气体漂移。

主权项

一种传动缝隙模块，其特征在于，所述传动缝隙模块包括传动装置和传动腔，所述传动腔设置在传动装置上方，传动腔上方设置有用于将两个溅射镀膜井位隔离的封板，所述传动装置包括一对轴承座、设置在轴承座上的多对轴承和设置在每对轴承之间的滚轮，所述传动腔包括垫板、中间隔板和盖板，所述中间隔板固定在轴承座上，作为传动腔的下壁；所述垫板与中间隔板固定连接，一同设置在所述轴承座上，垫板的高度即为传动腔的高度；所述盖板固定设置在垫板上，作为传动腔的上壁。