托盘、磁盘用基板的制造方法以及磁盘的制造方法

摘要

本发明提供一种能够减少加工中的擦伤等的产生、耐久性良好的用于磁盘用基板的加工的托盘。本发明的托盘是如下的托盘，其在将定盘的加工面按压在圆板状的基板的主表面上，并且使定盘的加工面与所述基板相对地移动而加工该基板的主表面时用于水平地保持该基板。该托盘使用包含玻璃纤维和树脂材料的复合材料而形成，且具有保持上述圆板状的基板的保持孔，该保持孔的内周壁面具有在托盘的面内方向上延伸且不存在玻璃纤维的多个凹部，在该多个凹部中填充有树脂。

主权项

一种托盘，其使用包含纤维和树脂材料的复合材料而形成，且具有用于在对圆板状的基板的主表面进行研磨或者磨削处理时保持该基板的保持孔，其特征在于，所述保持孔的内周壁面具有在所述托盘的面内方向上延伸、且不存在纤维的多个凹部，在该多个凹部中填充有树脂。