光纤MEMS法珀加速度传感器及其制作方法

摘要

本发明为一种光纤MEMS法珀加速度传感器及其制作方法，该加速度传感器主要由外壳、光纤、加速度敏感元件、基座等构成，采用MEMS技术加工传感器的外壳、加速度敏感元件和基座，通过MEMS键合技术实现基座、加速度敏感元件和外壳的固定，光纤固定在光纤套管内，通过熔接技术实现光纤和外壳的固定。通过MEMS技术在加速度敏感元件的加工质量块，将光纤出光面和加速度敏感元件上的质量块平行放置构成法珀腔实现高灵敏度测量。本发明具有体积小、批量生产，一致性好，温度系数低，耐高温的优点，能够满足常规及特殊环境下的加速度测量。

主权项

一种光纤MEMS法珀加速度传感器，其特征在于：包括外壳（1）、光纤套管（2）、光纤（3）、半反面（4）、反射面（5）、加速度敏感元件（6）和基座（7）；其中，外壳（1）、加速度敏感元（6）件和基座（7）的外径相同，三者依次由上至下对齐设置并通过MEMS键合技术实现连接；外壳（1）沿其竖直轴线开设有通孔，光纤套管（2）插装在外壳（1）的通孔内，光纤（3）插装在光纤套管（2）内，光纤（3）出光面经过抛光或者镀半反膜作为半反面，加速度敏感元件（6）的中心位置经过抛光或者镀膜作为反射面，半反面（4）与反射面（5）平行设置且之间留有空隙以形成法珀腔（8）。