晶舟盒暂存机构（二）

摘要

本发明为有关于一种晶舟盒暂存机构(二)，其包括具有供乘载晶舟盒的乘载部之夹爪模组、与晶舟盒边缘对应设置于乘载部上之定位凸点和置设于乘载部上方处之第一感应装置、第二感应装置及第三感应装置，且第二感应装置位置低于第一感应装置及第三感应装置；因此当夹爪模组拿取晶舟盒时定位凸点会先与晶舟盒边缘定位，且夹爪模组会上升由乘载部乘载晶舟盒，若只有第二感应装置感应到晶舟盒则判断位置正常，并当夹爪模组下降放下晶舟盒时，若只有第一感应装置及第三感应装置感应到晶舟盒则判断位置正常，藉此令本发明达到得精确确认晶舟盒位置是否正确之实用进步性。