| 发明名称 |
基板处理装置;SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS |
| 摘要 |
本发明提供一种基板处理装置，包括：复数个手臂，用于传送一基板；复数个制程部，用以处理基板；一程式储存部，用以储存至少一程式指示至少一复数个手臂作为一使用手臂且至少一复数个制程部作为一使用制程部及指定使用制程部的一制程情况及一控制单元，依据至少一程式，控制复数个手臂及复数个制程部以使基板使用手臂传送且于制程部进行制程情况之处理。 |
| 申请公布号 |
TW201546936 |
申请公布日期 |
2015.12.16 |
| 申请号 |
TW104109923 |
申请日期 |
2015.03.27 |
| 申请人 |
ＡＳＭ ＩＰ控股公司 ASM IP HOLDING B. V. |
发明人 |
和田隆 WADA, TAKASHI |
| 分类号 |
H01L21/67(2006.01) |
主分类号 |
H01L21/67(2006.01) |
| 代理机构 |
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代理人 |
洪澄文 |
| 主权项 |
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| 地址 |
荷兰 NL |
