用于使用复数个带电粒子射束检查样品的设备和方法;Apparatus and Method for Inspecting a Sample Using a Plurality of Charged Particle Beams

摘要

本发明关于检查样品的设备和方法。该设备包括：样品支架，其握持样品，多重射束带电粒子产生器，其产生一次带电粒子射束阵列，电磁透镜系统，其将该等一次带电粒子射束阵列指引成分开而聚焦的一次带电粒子射束阵列而到该样品上，多重像素光子侦测器，其配置成当该等一次带电粒子射束打在样品上时或在该等一次带电粒子射束透射穿过样品之后侦测该等聚焦的一次带电粒子射束所生成的光子，以及光学组件，其将该等分开而聚焦的一次带电粒子射束阵列之至少二个相邻而聚焦的一次带电粒子射束所生成的光子传递到多重像素光子侦测器之明确区分的和/或分开的像素或到明确区分的和/或分开的像素群。