基板处理装置、编辑方法及记忆媒体

摘要

经由使用者，轻易且确实地设定在以人力进行维修之前后应进行之基板处理装置的关闭及启动所需的程序。基板处理装置之控制装置，系具有将关闭动作命令(该关闭动作命令，系用于使基板处理装置从一般运转状态自动地移行至适于以人力进行维修的状态)与启动动作命令(该启动动作命令，系用于在以人力进行维修结束后使基板处理装置自动地移行至适于一般运转的状态)保存为一个巨集的功能，且使前述关闭动作命令及启动动作命令两者显示于显示装置的一个编辑画面(400)上，并且可经由输入装置，在该一个编辑画面上编辑前述巨集。