基板检查装置

摘要

本发明提供一种即便检查对象基板变薄亦可正背面分离地维持检查精度之光学检查装置。;本发明之基板检查装置包括基板保持部、照明部、摄像部、及检查部，上述照明部系以相对于上述基板之第1面成特定角度地照射上述照明光之方式配置，上述摄像部包括：基板第1面侧摄像部，其自上述基板之第1面侧观察设定于该基板之第1面侧之第1面侧检查对象区域；及基板第2面侧摄像部，其自上述第1面侧拍摄设定于与上述基板之第1面面对之相反侧之第2面侧之第2面侧检查对象区域；上述第1面摄像部系以相对于上述基板之第1面成特定角度地拍摄第1面侧检查对象区域之方式配置，上述第2面摄像部系以相对于上述基板之第2面成特定角度地拍摄第2面侧检查对象区域之方式配置。