影像感测器、检测系统及检测物件之方法;AN IMAGE SENSOR, AN INSPECTION SYSTEM AND A METHOD OF INSPECTING AN ARTICLE

摘要

本发明揭示一种高灵敏度影像感测器，其包括一本徵或轻p掺杂(诸如小于约10 13 cm -3 之一掺杂位准)磊晶矽层。在该磊晶层之正面上制造CMOS或CCD电路。在该磊晶层之背面上生长p及n型磊晶层。在该n型磊晶层上沈积一纯硼层。在该硼沈积制程期间，一些硼从该背面被驱动至该n型磊晶层中达数奈米。一抗反射涂层可被涂覆至该纯硼层。在该感测器之操作期间，一数十至数百伏特之负偏压电压经施加至该硼层，以使光子-电子远离背面表面加速且因一雪崩效应而产生额外电子。接地p井在需要时保护主动电路使其免受该经反向加偏压磊晶层之害。