光学装置

摘要

一种光学装置。其具备波长可变干涉滤光器、远心光学系统以及检测部，波长可变干涉滤光器具备：第一基板；第二基板，具备可动部和保持部；第一反射膜，设置在所述第一基板上；第二反射膜，设置在所述可动部上；以及静电致动器，使可动部位移，其中，在第一反射膜和第二反射膜上设置有测定有效区域，在可动部的位移量变为最大时，能够使以测定中心波长为中心且处于预先设定的容许值以内的波长的光透过，远心光学系统以使入射光的主光线平行且垂直于第一反射膜的方式将入射光导向所述波长可变干涉滤光器，同时使入射光会聚在测定有效区域内。

主权项

一种光学装置，其特征在于，具备：波长可变干涉滤光器，使入射光中的经多重干涉而加强的光透过；远心光学系统，将所述入射光导向所述波长可变干涉滤光器；以及检测部，检测透过了所述波长可变干涉滤光器的光，其中，所述波长可变干涉滤光器具备：第一基板；第二基板，与所述第一基板对置，所述第二基板具备可动部以及保持部，所述保持部包围所述可动部的外周且将所述可动部保持为能够相对于所述第一基板进退移动；第一反射膜，设置在所述第一基板上；第二反射膜，设置在所述可动部上，隔着间隙与所述第一反射膜对置；以及间隙可变部，通过使所述可动部位移以使所述间隙的尺寸变化，通过所述远心光学系统，使所述入射光的主光线垂直导向所述第一反射膜的面或者所述第二反射膜的面，使所述入射光会聚在第一反射膜及所述第二反射膜的测定有效区域的内侧，所述测定有效区域是在所述可动部的位移量变为最大时以测定中心波长为中心能使容许值以内的波长的光透过的区域，且还是以下的区域：在所述可动部的位移量变为最大位移量时，沿所述可动部的中心轴上的所述间隙的尺寸和所述测定有效区域的外周边缘的所述间隙的尺寸之间的差值小于等于所述容许值的一半。