| 发明名称 | 一种氟化碳膜及其制备方法和用途 | ||
| 摘要 | 本发明提供了一种氟化碳膜(CF<sub>x</sub>)及其制备方法和用途，所述氟化碳膜(CF<sub>x</sub>)的制备方法为：将惰性衬底置于ICP刻蚀系统中，以分子式中含有氟原子和碳原子的气体为工作气体对衬底表面进行氟基处理，即在衬底表面得到氟化碳膜。本发明提供的氟化碳膜的制备方法能够在多种衬底表面形成氟化碳钝化膜，从而使衬底达到疏水的效果，能够将透明、高反等光学性质与防水、防雾和自清洁等功能有效结合，并且其制备周期短，全程在高真空状态下进行，污染少、成本低、容易操作且便于大规模生产，对于实现光电器件的自清洁功能和其他功能的有效结合具有重要的意义。 | ||
| 申请公布号 | CN105154850A | 申请公布日期 | 2015.12.16 |
| 申请号 | CN201510627966.2 | 申请日期 | 2015.09.28 |
| 申请人 | 国家纳米科学中心 | 发明人 | 闫兰琴;褚卫国;徐丽华;张先锋 |
| 分类号 | C23C16/30(2006.01)I;C23C16/02(2006.01)I;H01L21/314(2006.01)I;H01L31/0216(2014.01)I | 主分类号 | C23C16/30(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人 | 巩克栋;侯桂丽 |
| 主权项 | 一种氟化碳膜的制备方法，其特征在于，所述制备方法为：将惰性衬底置于ICP刻蚀系统中，以分子式中含有碳原子和氟原子的气体为工作气体对衬底表面进行氟基处理，即在衬底表面得到氟化碳膜。 | ||
| 地址 | 100190 北京市海淀区中关村北一条11号 | ||