发明名称 ILLUMINATING OPTICAL APPARATUS EXPOSURE APPARATUS EXPOSURE METHOD AND DEVICE MANUFACTURING METHOD
摘要 <p>광량 손실을 양호하게 억제하면서 둘레 방향 편광 상태의 고리 형상의 조명 동공(照明 瞳孔) 분포를 형성할 수 있는 조명 광학 장치. 본 발명의 조명 광학 장치는 입사 광속에 근거해, 소정면에 고리 형상의 광강도 분포를 형성하기 위한 광속 변환 소자(50)를 구비하고 있다. 광속 변환 소자는 선광성(旋光性)을 갖는 광학 재료에 의해 형성되고, 입사 광속에 근거해, 고리 형상의 광강도 분포 중 제 1 원호 형상 영역 분포를 형성하기 위한 제 1 기본 소자(50A)와, 제 2 원호 형상 영역 분포를 형성하기 위한 제 2 기본 소자(50B)와, 제 3 원호 형상 영역 분포를 형성하기 위한 제 3 기본 소자(50C)와, 제 4 원호 형상 영역 분포를 형성하기 위한 제 4 기본 소자(50D)에 의해 구성되어 있다. 각 기본 소자는 광의 투과 방향에 따라 두께가 서로 다르다.</p>
申请公布号 KR101578226(B1) 申请公布日期 2015.12.16
申请号 KR20097023904 申请日期 2004.11.02
申请人 가부시키가이샤 니콘 发明人 도요다 미츠노리
分类号 G02B19/00;G02B27/00;G02B27/28;G02B27/44;G03F7/20;H01L21/027 主分类号 G02B19/00
代理机构 代理人
主权项
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