包括经由原子层沉积形成的多重缓冲层的太阳能电池及其制造方法;SOLAR CELL INCLUDING MULTIPLE BUFFER LAYER FORMED BY ATOMIC LAYER DEPOSITION AND METHOD OF FABRICATING THE SAME

摘要

本发明提供了一种太阳能电池及其制造方法。太阳能电池包括：一基板；一形成在所述基板上的背电极层；一形成在所述背电极层上的光吸收层；一缓冲层，其包括经由原子层沉积(ALD)形成在所述光吸收层上的无氧的一第一缓冲层和经由原子层沉积(ALD)形成在所述第一缓冲层上的一第二缓冲层；以及一形成在所述缓冲层上的前电极层。; a back electrode layer formed on the substrate; a light absorbing layer formed on the back electrode layer; a buffer layer including an O-free first buffer layer formed on the light absorbing layer by atomic layer deposition (ALD) and a second buffer layer formed on the first buffer layer by the atomic layer deposition (ALD); and a front electrode layer formed on the buffer layer.