矽基板

摘要

本发明为提供一种可自在且简便地形成具有持种种防反射功能之表面形状的矽基板之方法及藉此所得之矽基板。;其中于至少单面上形成以下(A)~(E)之至少1种的矽基板；(A)逆棱锥形状凹部者，该逆棱锥形状凹部者为具有形成于上下方向延伸的沟之侧面、(B)略逆棱锥形状凹部者，该略逆棱锥形状凹部为具有形成于上下方向延伸的沟之侧面、形成三角形状之痕迹的侧面、(C)具有形成三角形状痕迹的侧面之逆棱锥形状凹部、(D)逆棱锥形状凹部者，该逆棱锥形状凹部为具有逆棱锥形状孔及形成于上下方向延伸的沟之侧面、(E)底面为5以上多角形的逆多角锥形状凹部。