发明名称 PVD-Verfahren
摘要
申请公布号 DE10232179(B4) 申请公布日期 2009.01.08
申请号 DE20021032179 申请日期 2002.07.16
申请人 QIMONDA AG 发明人 SABISCH, WINFRIED;KERSCH, ALFRED;SCHULZE-ICKING, GEORG;WITKE, THOMAS;ZEDLITZ, RALF
分类号 C23C14/35;H01J37/34 主分类号 C23C14/35
代理机构 代理人
主权项
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