发明名称 Method for the removal of a microscopic sample from a substrate
摘要
申请公布号 EP1612836(B1) 申请公布日期 2010.02.24
申请号 EP20050076464 申请日期 2005.06.27
申请人 FEI COMPANY 发明人 TAPPEL, HENK GEZINUS
分类号 H01J37/305 主分类号 H01J37/305
代理机构 代理人
主权项
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