原子力显微镜探针

摘要

用于原子力显微镜的探针(22)适合于使得当扫描样品(14)时，它受到将探针推向样品的偏置力F_direct。这改进样品表面的探针跟踪，并且更快扫描成为可能。通过在探针(22)上包括响应于外加力的偏置元件(24，50)和/或减小支撑梁的品质因子实现这点。偏置元件可以是例如磁体(24)或导电元件(50)。可以通过用机械能消散材料涂敷梁来减小品质因子。

主权项

1.一种供原子力显微镜或纳米光刻术中使用的探针(22)，该探针包括连接到具有100nm或更小针尖半径的探针尖端(4)的具有第一侧和第二侧的力感测元件(3)，其特征在于在第一侧和第二侧中的至少一侧上用机械能消散聚合物来涂敷该探针，该聚合物包括选自由下列组成的组中的一种或多种物质：i)具有低交叉链接密度的橡胶，和ii)嵌段共聚物材料，该嵌段共聚物材料的多数组分是玻璃转变温度低于室温的无定形橡胶而该嵌段共聚物材料的少数组分是玻璃转变温度高于室温的无定形聚合物。