图像显示装置及其制造方法

摘要

本发明提供一种图像显示装置及其制造方法，通过做成具有能够削减注入和光刻的工序数的结构的薄膜晶体管，缩短了制造所花费的时间。栅极电极(GT)具有薄的下层金属(GMB)与上层金属(GMT)的层叠结构，保持电容(Cst)部分的上层电极取为仅有下层金属(GMB)。而且，使保持电容(Cst)的下部电极用注入通过薄的下层金属(GMB)与源极/漏极的注入同时进行。(PMOSTFT)的栅极电极也取为仅有下层金属(GMB)，利用相同的抗蚀剂进行源极/漏极的注入和阈值调整注入。通过将薄膜晶体管和保持电容取为这样的结构，能够削减1个光刻工序和1个注入工序，能以更短的时间、更低廉的价格获得用于图像显示装置的有源矩阵基板。

主权项

1.一种图像显示装置，包括有源矩阵基板，上述有源矩阵基板具有：在绝缘性基板上形成的多条栅极线、和与上述多条栅极线交叉成矩阵状而形成的多条数据线，在上述栅极线与上述数据线的交叉部分形成多个像素，在由上述多个像素构成的显示区域的外侧形成包含用于驱动该像素的驱动电路的外围电路，上述像素具有薄膜晶体管和保持电容，上述外围电路具有薄膜晶体管，所述图像显示装置的特征在于：上述栅极线是下层金属膜与上层金属膜的层叠结构，上述保持电容的上部电极是与构成上述栅极线的上述下层金属膜同层的金属膜。