发明名称 晶块切割机台
摘要 一种晶块切割机台,包括一底座,一Z轴支座,一晶块承载台和一升降装置,其特征在于:所述Z轴支座,在所述底座的一侧;所述晶块承载台,具有一固定端连接所述Z轴支座,所述Z轴支座与所述晶块承载台之间具有一路径稳定机构。所述升降装置,设置在所述晶块承载台下方,提供垂直方向的支撑力给所述晶块承载台。
申请公布号 CN101653970A 申请公布日期 2010.02.24
申请号 CN200810211131.9 申请日期 2008.08.22
申请人 旺矽科技股份有限公司 发明人 谢光南;杨天德
分类号 B28D5/00(2006.01)I 主分类号 B28D5/00(2006.01)I
代理机构 上海天协和诚知识产权代理事务所 代理人 张恒康
主权项 1.一种晶块切割机台,包括一底座,一Z轴支座,一晶块承载台和一升降装置,其特征在于:所述Z轴支座,在所述底座的一侧;所述晶块承载台,具有一固定端连接所述Z轴支座,所述Z轴支座与所述晶块承载台之间具有一路径稳定机构;所述升降装置,设置在所述晶块承载台下方,提供垂直方向的支撑力给所述晶块承载台。
地址 中国台湾新竹县竹北市中和街155号1-3楼