| 发明名称 | 匀胶机基片的固定装置 | ||
| 摘要 | 本实用新型是关于一种基片固定装置，尤其是指用于薄膜工艺设备匀胶机的基片固定装置。按照本实用新型提供的技术方案，所述匀胶机基片的固定装置，包括承片平台，其特征是：在承片平台的上表面设置用于承接工件的盘面，在承片平台的边缘设置数个用于定位工件的定位卡，所述定位卡的定位端指向承片平台的中心，所述定位端呈锥形，并且，所述定位端位于盘面的一侧。本实用新型能实现带有通孔的方形基片采用旋转方式涂覆光刻胶。 | ||
| 申请公布号 | CN201410458Y | 申请公布日期 | 2010.02.24 |
| 申请号 | CN200920045252.0 | 申请日期 | 2009.05.22 |
| 申请人 | 无锡华测电子系统有限公司 | 发明人 | 刘立安 |
| 分类号 | B05C13/02(2006.01)I | 主分类号 | B05C13/02(2006.01)I |
| 代理机构 | 无锡市大为专利商标事务所 | 代理人 | 曹祖良 |
| 主权项 | 1、一种匀胶机基片的固定装置，包括承片平台(1)，其特征是：在承片平台(1)的上表面设置用于承接工件的盘面(3)，在承片平台(1)的边缘设置数个用于定位工件的定位卡(9)，所述定位卡(9)的定位端(7)指向承片平台(1)的中心，所述定位端(7)呈锥形，并且，所述定位端(7)位于盘面(3)的一侧。 | ||
| 地址 | 214072江苏省无锡市滨湖区滴翠路100号2号楼401室 | ||