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发明名称
摘要
申请公布号
JP4422801(B2)
申请公布日期
2010.02.24
申请号
JP19980528395
申请日期
1997.12.22
申请人
发明人
分类号
C23C14/35;H01J37/34
主分类号
C23C14/35
代理机构
代理人
主权项
地址
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