不锈钢表面抛光的化学机械抛光组合物

摘要

本发明涉及一种不锈钢表面抛光的化学机械抛光组合物，该抛光组合物由磨料、氧化剂、抛光促进剂、金属螯合剂、渗透剂、表面活性剂组成，其特征在于：加入了氧化铝溶胶，即以胶体状态分散于酸性水溶液中的水合氧化铝，水合氧化铝可以是勃姆石、假勃姆石、水铝石、三水铝石。

主权项

1、一种不锈钢表面抛光的化学机械抛光组合物，其特征在于：由磨料、促进剂、氧化剂、金属螯合剂、表面活性剂、渗透剂组成；所述各组份重量百分比如下：磨料0.1～20％ 促进剂1～10％氧化剂1～15％ 金属螯合剂0.01～5％表面活性剂0.01～5％ 渗透剂0.01～1％。