发明名称 用于形成量子阱结构的远距离δ掺杂层的机制
摘要 一种制造量子阱器件的方法包括在量子阱的δ层的侧面上形成扩散阻挡层以将掺杂剂限制到量子阱。
申请公布号 CN101657903A 申请公布日期 2010.02.24
申请号 CN200880010277.5 申请日期 2008.03.27
申请人 英特尔公司 发明人 B·金;A·马宗达;J·卡瓦利罗斯;S·达塔;R·乔
分类号 H01L29/778(2006.01)I;H01L29/768(2006.01)I 主分类号 H01L29/778(2006.01)I
代理机构 上海专利商标事务所有限公司 代理人 钱慰民;谢喜堂
主权项 1.一种制造量子阱器件的方法,包括在量子阱的δ层的侧面上形成扩散阻挡层以将掺杂剂限制到所述量子阱。
地址 美国加利福尼亚州