发明名称 |
RADIATION CURABLE COMPOSITION, STORING METHOD THEREOF, FORMING METHOD OF CURED FILM, PATTERNING METHOD, USE OF PATTERN, ELECTRONIC COMPONENTS AND OPTICAL WAVEGUIDE |
摘要 |
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申请公布号 |
EP1672426(A4) |
申请公布日期 |
2010.02.24 |
申请号 |
EP20040792147 |
申请日期 |
2004.10.07 |
申请人 |
HITACHI CHEMICAL COMPANY, LTD. |
发明人 |
SAKURAI, HARUAKI;ABE, KOICHI |
分类号 |
G03F7/075;C08G77/04;C08L83/00;G02B6/12;G03F7/004;G03F7/038;H01L21/027 |
主分类号 |
G03F7/075 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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