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Una válvula giratoria (1) que comprende: (a) un rotor (4) que tiene una superficie de rotor giratoria alrededor de un eje, que está perpendicular a la superficie del rotor y con al menos una ranura curvada (24), en la que la superficie del rotor tiene una pluralidad de orificios, en la que el rotor incluye al menos un paso que conecta al menos una pareja de la pluralidad de aberturas; (b) un estator (2) que tiene una superficie de estator en contacto de sellado con la superficie del rotor para formar una junta de válvula giratoria plana con una superficie exterior; una pluralidad de orificios (9a, 9b, 9c, 9d) en la superficie del estator, en la que al menos dos orificios están adaptados para coincidir secuencialmente con aberturas en la superficie del rotor a medida que gira el rotor, estando conectado cada orificio a un paso respectivo a través del estator (2); un paso de vacío del estator formado por una muesca anular (16) en la superficie del estator, en la que la muesca anular (16) está en comunicación de flujo con al menos una ranura curvada (24) en el rotor (4); y un paso (16a) conectado en un extremo a la muesca anular (16) y que tiene un orificio (19) en el otro extremo que se puede conectar directamente a una bomba de vacío; en la que la ranura curvada (24) en el rotor (4) está adaptada para coincidir secuencialmente con cada uno de la pluralidad de orificios (9a, 9b, 9c, 9d) para colocar cada orificio en comunicación de flujo con la bomba de vacío a (c) través de la muesca anular (16) y el orificio (19); y (d) una cámara de válvula sellada que tiene un volumen interior contiguo con la periferia exterior de la junta de válvula giratoria, cuya cámara está sellada desde la atmósfera que rodea la válvula giratoria: (e) en la que la válvula giratoria incluye uno de (1) un paso de ventilación de vacío (20) en el rotor (4) conectado a la muesca curvada (24) con el volumen interior de la cámara de válvula sellada, (2) un paso de ventilación de vacío (20b) en el estator (2) que conecta la muesca anular (16) con el volumen interior de la cámara de válvula sellada; y (3) un paso de ventilación de vacío (20b) en una pared de la cámara de válvula sellada, en el que el paso de ventilación de vacío está conectado a la bomba de vacío. (f) un rotor adicional (5) que tiene una superficie de rotor giratoria alrededor de un eje, que está perpendicular a la superficie del rotor, en el que la superficie del rotor adicional (5) tiene una pluralidad de aberturas (25- 30), y en el que el rotor adicional (5) incluye al menos un paso (31-34) que conecta al menos una pareja de la pluralidad de aberturas (25-30); y (g) un estator adicional (3) que tiene una superficie de estator en contacto de sellado con la superficie del rotor de (e) para formar una válvula giratoria plana adicional que tiene una periferia exterior, en el que la superficie del estator tiene una pluralidad de aberturas (11a, 11b, 11c, 11d), en el que al menos dos aberturas están adaptadas para coincidir secuencialmente con aberturas en la superficie del rotor de (e) a medida que el rotor adicional (3) gira, en el que cada abertura en la superficie del estator está conectada a un paso respectivo a través del estator, y en el que el rotor adicional y el estator adicional están dispuestos coaxialmente con el rotor (4) de (a) y el estator (2) de (b); en el que la periferia exterior de la junta de válvula giratoria plana adicional está contigua con la cámara sellada de la válvula.
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