| 发明名称 |
Substrate inspection apparatus |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB2462734(A) |
申请公布日期 |
2010.02.24 |
| 申请号 |
GB20090016554 |
申请日期 |
2005.07.25 |
| 申请人 |
HORIBA LTD |
发明人 |
NOBUYUKI NAKA;AKIHIRO KATANISHI;MASAAKI MAGARI;YOSHIYUKI NAKAJIMA;KIMIHIKO ARIMOTO |
| 分类号 |
G01N21/65;G01J3/44;G01N21/95;H01L21/66 |
主分类号 |
G01N21/65 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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