磁控溅射生产线中移动式回架车的供电方法及专用供电装置

摘要

磁控溅射生产线中移动式回架车的供电方法，为：在借助两个导轨支撑回架车的台座上开有托槽，托槽位于两个导轨之间处且其与导轨的走向相一致；将贯穿有电缆的拖链置于托槽内；使拖链一端与回架车连接、另一端与台座固接；使电缆一端与回架车内的交流电机电连接、另一端与设置在台座上的交流供电电源连接。该方法中用的专用供电装置的结构为：它包括借助两个导轨支撑回架车的台座，台座上在两个导轨之间处开有与导轨走向相一致的托槽，贯穿有电缆的拖链置于托槽内，拖链一端与回架车连接、另一端与台座固接，电缆一端与回架车内的交流电机电连接、另一端与设置在台座上的交流供电电源连接。该方法供电安全。该专用供电装置维护方便、成本低。

主权项

1、磁控溅射生产线中移动式回架车的供电方法，包括以下工艺步骤：1)在借助相互平行的两个导轨支撑回架车的台座上开有用来承载拖链的托槽，托槽位于两个导轨之间处且其与导轨的走向相一致；2)将拖链活络地置于托槽内，在拖链中贯穿有电缆；3)使拖链的一端与回架车连接、另一端与台座固接；4)使电缆的一端与回架车内的交流电机电连接、另一端与设置在台座上的交流供电电源连接，从而将交流供电电源的电流直接供予回架车内的交流电机使用。