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发明名称
Methods of depositing SiO² films
摘要
申请公布号
GB0922647(D0)
申请公布日期
2010.02.10
申请号
GB20090022647
申请日期
2009.12.24
申请人
AVIZA TECHNOLOGIES LIMITED
发明人
分类号
主分类号
代理机构
代理人
主权项
地址
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