| 摘要 |
1. Сканирующий зондовый микроскоп, совмещенный с устройством модификации поверхности объекта, включающий платформу, на которой установлены пуансон с первым приводом и механизм перемещения образца со вторым приводом, сканирующее устройство, измерительный зонд с держателем и блок управления, отличающийся тем, что сканирующее устройство установлено на механизме перемещения образца, а образец закреплен на сканирующем устройстве. ! 2. Устройство по п.1, отличающееся тем, что образец сопряжен с первым оптическим блоком. ! 3. Устройство по п.1, отличающееся тем, что первый оптический блок выполнен в виде оптического микроскопа. ! 4. Устройство по п.1, отличающееся тем, что измерительный зонд выполнен в виде кварцевого резонатора с острием. ! 5. Устройство по п.1, отличающееся тем, что измерительный зонд выполнен в виде кварцевого резонатора с острием, закрепленным на нем посредством гибкой консоли. ! 6. Устройство по п.5, отличающееся тем, что гибкая консоль параллельна плечу кварцевого резонатора ! 7. Устройство по п.5, отличающееся тем, что гибкая консоль перпендикулярна плечу кварцевого резонатора. ! 8. Устройство по п.1, отличающееся тем, что измерительный зонд выполнен в виде кварцевого резонатора со световодом, совмещенным со вторым оптическим блоком. ! 9. Устройство по п.4, отличающееся тем, что острие выполнено электопроводящим и подключено к блоку управления. ! 10. Устройство по п.1, отличающееся тем, что измерительный зонд выполнен в виде электропроводящей иглы, подключенной к блоку управления. ! 11. Устройство по п.1, отличающееся тем, что измерительный зонд оптически сопряжен с модулем анализа. ! 12. Устройство по п.1, отличающееся |
