| 发明名称 | 在可重复使用的基板上制造探针卡的微机电探针 | ||
| 摘要 | 本发明是一种可重复使用的基板上制造探针卡的微机电(micro-electro-mechanical system；MEMS)探针，是于一基板上制造一微机电探针，以供用于一探针卡。该探针具有一接合面，该接合面被附着至探针卡的一应用平台。该接合面是形成于一垂直于该基板的一表面的平面上。于该探针下面形成一底切(undercut)，用于将探针自基板分离。 | ||
| 申请公布号 | CN101644725A | 申请公布日期 | 2010.02.10 |
| 申请号 | CN200910128922.X | 申请日期 | 2009.03.10 |
| 申请人 | 稳银科技控股公司 | 发明人 | 徐曾洋;林宝九 |
| 分类号 | G01R1/067(2006.01)I;B81B7/02(2006.01)I;B81C1/00(2006.01)I;H01L21/66(2006.01)I;B81C5/00(2006.01)I | 主分类号 | G01R1/067(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人 | 任永武 |
| 主权项 | 1.一种方法，包括：在一基板上利用微机电工艺技术来制作一探针，该探针具有一接合面可以安装在一探针卡的一应用平台上，该接合面是形成在垂直于该基板的一表面的一平面上；以及在该探针下方形成一底切使得该探针可以自该基板上分离。 | ||
| 地址 | 台湾省台北市松山区105敦化南路一段1号4楼 | ||