泄漏检查装置

摘要

本发明涉及一种检查装置，其中当He气加压并充入容纳在真空腔2内的制品1中时检测从制品1的He气的泄漏，在真空腔内设置能够相应于制品1的尺寸而改变真空腔的容积的可变容积装置。可变容积装置的示例是布置在真空腔内并沿真空腔的壁面移动的可变容积活塞8。可以设置多个可变容积活塞。

主权项

1.一种泄漏检查装置，包括：用于容纳待检查目标的真空腔；用于从所述真空腔排出空气的真空泵；用于将示踪气体供应并充入所述待检查目标的示踪气体供应源；及用于检测已经从所述待检查目标泄漏出的示踪气体的泄漏检测器，其中所述示踪气体被加压并充入容纳在所述真空腔内的所述待检查目标中，以检查所述示踪气体从所述待检查目标的泄漏，所述泄漏检查装置还包括用于改变所述真空腔的容积的容积改变装置。