借助于粒子束中的像散在粒子光学设备中执行聚焦的方法

摘要

在例如电子显微镜之类的粒子光学设备中，自动地执行聚焦过程是有利的。根据本发明，故意使要被聚焦的电子束像散到一定程度。利用这个像散射束，在物镜的不同设定时形成两幅样本的图像，此后确定每幅图像中的像散模糊方向，例如，借助于二维傅立叶变换(FFT)。如果在从物镜的第一设定到第二设定的变化中通过了最佳焦点，那么像散模糊的方向彼此垂直。通过这两个设定之间的插值(该过程可以是迭代的)，现在可以确定最佳焦点。通过在物镜的两个设定时形成两幅图像并且从彼此中减去FFT，就可以消除样本自身中的各向异性。

主权项

1.一种用于在具有成像物镜的粒子光学设备中使带电粒子束聚焦的方法，包括以下步骤：(a)对于物镜的第一焦度设定，从所述带电粒子束形成具有伴生像散方向的第一像散射束；(b)在该粒子光学设备中利用第一像散射束形成样本的图像；(c)确定步骤(b)中形成的图像中的像散模糊的方向；(d)为物镜提供不同的焦度设定，即物镜的第二焦度设定；(e)对于物镜的第二焦度设定，从所述带电粒子束形成具有伴生像散方向的第二像散射束；(f)利用第二像散射束形成样本的图像；(g)确定步骤(f)中形成的图像中的像散模糊的方向；(h)比较步骤(b)中形成的图像中像散模糊的方向与步骤(f)中形成的图像中像散模糊的方向；(i)在前述的方向相同的情况下，重复步骤(d)到(h)，在前述的方向不相同的情况下，在物镜的第一焦度设定和物镜的最后获得的焦度设定之间实施插值处理，从而确定当带电粒子束达到其最佳聚焦时该物镜的焦度设定。