一种抗干扰异步修调晶圆测试用探针卡

摘要

本实用新型提供一种抗干扰异步修调晶圆测试用探针卡，用于对晶圆上的芯片进行测试，其中探针卡上具有分开排布的一组熔丝探针和两组测试探针，所述的一组熔丝探针排布在两组测试探针之间；采用本实用新型探针卡在测试芯片时，对于某一芯片而言，每次只会有一种探针，即测试探针或熔丝探针与之接触，因此在修整熔丝之前进行测试芯片初始值时以及在修整熔丝之后进行最终修调结果时，被测芯片上不会与熔丝探针相接触，从而避免了修整熔丝部分探针对芯片测试初始值和修调结果时的干扰，测试精度得到很大的提高。

主权项

1、一种抗干扰异步修调晶圆测试用探针卡，用于对晶圆上的芯片进行测试，其特征在于：所述探针卡上具有分开排布的一组熔丝探针和两组测试探针，所述的一组熔丝探针排布在两组测试探针之间。