垂直延伸腔表面发射激光器以及用于制造该激光器的发光部件的方法

摘要

本发明涉及制造VECSEL的发光部件的方法以及相应的VECSEL。在该方法中，叠层(2)在半导体衬底(1)上外延地生长。该叠层包括激活区(4)、上部分布式布拉格反射器(5)和设置在该激活区(4)和该半导体衬底(1)之间的掺杂n或p的电流注入层(13)。将机械支撑(6)或小装配键合到该叠层(2)的上侧，并且随后去掉该半导体衬底(1)。可选地，在叠层(2)的下侧沉积金属化层(7)，并且将光学透明衬底(8)键合到该下侧。所提出的方法允许按照标准的方式来制造这种部件，并且产生具有均匀电流注入和高效率散热的VECSEL。

主权项

1.垂直延伸腔表面发射激光器，包括至少下面的部件：-延伸反射镜(11)，其形成延伸腔的第一端镜，-用于产生激光的波长的分布式布拉格反射器(5)，其形成该延伸腔的第二端镜，-用于光发射的激活区(4)，其设置在该分布式布拉格反射器的内侧，所述激活区(4)和所述分布式布拉格反射器(5)形成叠层(2)的至少一部分，-光学透明衬底(8)，其位于所述延伸腔之内，附接到该叠层(2)上，以及-散热装置(10)，其附接到叠层(2)，位于该分布式布拉格反射器(5)的外侧，其中，电流注入层(13)夹在激活区(4)与光学透明衬底(8)中间并且被设计或设置成允许激光器操作。