发明名称 EPITAXIAL DEPOSITION REACTOR
摘要
申请公布号 US3491720(A) 申请公布日期 1970.01.27
申请号 USD3491720 申请日期 1965.07.29
申请人 MONSANTO CO. 发明人 DARREL M. HARRIS
分类号 C30B25/08;H01L21/20;(IPC1-7):C23C13/08 主分类号 C30B25/08
代理机构 代理人
主权项
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