发明名称 PROCESS FOR PRODUCING SILICON CARBIDE SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 EP1933386(A4) 申请公布日期 2010.01.27
申请号 EP20060797281 申请日期 2006.09.01
申请人 CENTRAL RESEARCH INSTITUTE OF ELECTRIC POWER INDUSTRY 发明人 MIYANAGI, TOSHIYUKI;TSUCHIDA, HIDEKAZU;KAMATA, ISAHO;NAGANO, MASAHIRO;SUGAWARA, YOSHITAKA;NAKAYAMA, KOJI;ISHII, RYOSUKE
分类号 H01L29/861;H01L21/18;H01L21/329;H01L29/24 主分类号 H01L29/861
代理机构 代理人
主权项
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