用于制造微流体器件的方法及其形成的器件

摘要

一种制造微流体器件的方法，包括提供第一和第二基片，和在第一基片上形成第一玻璃料结构，和在第二基片上形成第二玻璃料结构，和将第一和第二基片一起固化，此时玻璃料结构相对，在所述第一和第二基片间形成固化玻璃料界定的和固化玻璃料环绕的通道，其中第二基片具有至少一个预先形成的通孔，并且形成第二玻璃料结构包括在所述通孔中形成以足够薄的厚度覆盖通孔内表面的玻璃料层，从而在将基片与第一和第二玻璃料结构一起固化时，产生固化玻璃料内表面与环绕通道的固化玻璃料连续的通孔。

主权项

1.制造微流体器件的方法，该方法包括：提供第一基片；提供第二基片；在所述第一基片的端面上形成第一玻璃料结构；在所述第二基片的端面上形成第二玻璃料结构；将所述第一基片和所述第二基片以及所述第一和第二玻璃料结构一起固化，此时端面相对，从而在所述第一和第二基片之间形成被固化玻璃料环绕的通道；其中，提供所述第二基片包括提供其上具有至少一个通孔的第二基片；形成第二玻璃料结构包括在所述第二基片通孔中形成玻璃料层，所述通孔中的所述玻璃料层以足够薄的厚度覆盖了所述通孔的内表面，从而在将所述第一基片和所述第二基片以及所述第一和第二玻璃料结构一起固化时产生固化玻璃料内表面与环绕所述通道的固化玻璃料连续的通孔。