真空光学谐振腔中磁耦合空心轴组合式横流风机

摘要

一种真空光学谐振腔中磁耦合空心轴组合式横流风机，属于真空窥入技术及光谱技术领域。横流风机中的旋转轴设计成磁耦合空心轴组合式，该旋转轴是通过风机叶轮与隔板、叶片镶嵌式组成；风机的两轴头要设计成实心；横流风机腔内旋转是通过磁耦合实现；连接关系是通过叶片将叶轮、隔板组合并固紧构成一个空心轴，然后将风机的两轴头分别组合装到风机左右两端叶轮上并保证两轴头同轴；然后横流风机与腔外磁耦合器联接；并保证该横流风机在2000转/分时动平衡状态良好，气体流速约4.2米/秒，气体流速不均度±15％，实现通风功效。本发明应用到真空窥入技术及光谱技术领域提高了光学谐腔转换效率和使用寿命。该横流风机效率高，成本低，便于推广。

主权项

1、真空光学谐振腔中磁耦合空心轴组合式横流风机，其特征在于采用真空光学谐振腔中磁耦合，叶轮与隔板、叶片镶嵌式组合空心轴横流风机，该真空光学谐振腔中磁耦合空心轴组合式横流风机包括叶轮(1)、叶片(2)、隔板(3)、长轴头(4)、短轴头(5)、连接键(6)、螺钉(7)、锥销(8)、导套(9)、护套(10)、磁铁(11)、电机(12)、电机座(13)、锁紧螺母(14)、隔套(15)、轴承(16)、支板(17)、箱体(18)、电极座(19)、阴极(20)、阳极(21)、密封垫(22)、耦合器(23)；各部件的连接关系：首先将叶轮(1)与叶片(2)及隔板(3)镶嵌组合并紧固，形成空心轴组合并保证两端叶轮同轴；然后将长轴头(4)与短轴头(5)分别安装在空心轴组合的两端并用连接键(6)螺钉(7)将其连接；精调两轴头长轴头(4)短轴头(5)在保证同轴度要求后打入锥销(8)并紧固，即构成空心轴组合轴系；护套(10)与导套(9)、磁铁(11)、电机(12)、电机座(13)磁耦合器(23)耦合后使横流风机旋转，省去腔内与腔外密封。