场致发射型电子枪及使用了该电子枪的电子束装置

摘要

本发明提供一种具有不会破坏纤维状碳物质前端部，可去除其前端部存在的非晶碳的机构的场致发射型电子枪及其运转方法。为解决本发明的课题的机构的场致发射型电子枪，其包括：由单一的纤维状碳物质和支撑其的导电性基体材料构成的场致发射型阴极；使电子场致发射的引出装置；以及使电子加速的加速装置；该场致发射型电子枪具备：加热该场致发射型阴极的机构以及对该场致发射型阴极施加不使电子进行场致发射电的极性的电压的机构。

主权项

1.一种场致发射型电子枪，具备：单一的纤维状碳物质和支撑其的导电性基体材料；从上述碳物质引出电子的引出电极；对上述引出电极施加电压的电源；以及使上述电子加速的加速电极；其特征在于，具备加热上述碳物质的加热机构；在上述碳物质和上述引出电极之间，施加上述碳物质比上述引出电极电位高的电压差1kV-20kV的电压，同时，由上述加热机构将上述碳物质加热到800℃以上，使上述碳物质的非结晶层的厚度为1nm以下且进行控制以使其前端闭合。