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发明名称
摘要
申请公布号
JP4380162(B2)
申请公布日期
2009.12.09
申请号
JP20030015072
申请日期
2003.01.23
申请人
发明人
分类号
H01L21/02;H01L21/322;H01L27/12
主分类号
H01L21/02
代理机构
代理人
主权项
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