| 发明名称 | 金属化聚酰亚胺膜及其制造方法 | ||
| 摘要 | 一种金属化聚酰亚胺膜，具有以下结构：聚酰亚胺膜；在距所述聚酰亚胺膜表面20nm以内的表层区域中注入了从Mo、Cr、Ni及Si中选出的1种、2种或2种以上元素而形成的中间层；在所述中间层上形成的由铜或铜合金构成的导电层，上述中间层中上述元素的注入量为0.3～15mg/m<sup>2</sup>。 | ||
| 申请公布号 | CN100566992C | 申请公布日期 | 2009.12.09 |
| 申请号 | CN200510005225.7 | 申请日期 | 2005.02.01 |
| 申请人 | 三菱伸铜株式会社 | 发明人 | 相田正之 |
| 分类号 | B32B15/08(2006.01)I;H01L21/60(2006.01)I;H05K1/05(2006.01)I;C23C14/20(2006.01)I | 主分类号 | B32B15/08(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京市金杜律师事务所 | 代理人 | 杨宏军 |
| 主权项 | 1.一种金属化聚酰亚胺膜，具有以下结构：聚酰亚胺膜；在距所述聚酰亚胺膜表面20nm以内的表层区域中注入了从Mo、Cr、Ni及Si中选出的1种或2种以上元素而形成的中间层；在所述中间层上形成的由铜或铜合金构成的导电层，上述中间层中上述元素的注入量为0.3～15mg/m2。 | ||
| 地址 | 日本东京都 | ||