发明名称 涂有填充的、可旋涂的材料的半导体晶片
摘要 本发明是一种半导体晶片,其具有有源面和与有源面相反的背面,所述背面涂有填充的、可旋涂的涂料,其中涂料包含树脂和球形填料,所述球形填料的特征为平均粒径大于2μm和单峰粒度分布。在另一个实施方式中,本发明是生产可旋涂的、可B阶处理的具有1.2或更小的触变指数的涂料的方法。在第三个实施方式中,本发明是生产涂布半导体晶片的方法。
申请公布号 CN101601122A 申请公布日期 2009.12.09
申请号 CN200780050576.7 申请日期 2007.01.31
申请人 汉高股份两合公司 发明人 C·尤恩苏克
分类号 H01L21/027(2006.01)I;H01L21/08(2006.01)I 主分类号 H01L21/027(2006.01)I
代理机构 北京纪凯知识产权代理有限公司 代理人 赵蓉民;路小龙
主权项 1.半导体晶片,其具有有源面和与有源面相反的背面,其中所述背面涂有涂料,所述涂料包含(a)树脂和(b)球形填料,所述球形填料具有大于2μm的平均粒径和单峰粒度分布。
地址 德国杜塞尔多夫